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LIMO BTS光束傳輸系統(tǒng)
LIMO光束傳輸系統(tǒng)、LIMO LD Bar BTS光束傳輸系統(tǒng)、LIMO光束傳輸系統(tǒng)簡介:德國Limo公司是世界*的微光學(Micro-optics)產(chǎn)品和半導體激光器(Diode Laser)的供應商,其微光學技術是業(yè)內(nèi)*的世界*,微光學產(chǎn)品的應用涵蓋半導體激光準直、耦合透鏡;激光微細加工光束的整形鏡;光刻機上的核心光束均勻化物鏡。LIMO BTS光束傳輸系統(tǒng)
LIMO BTS光束傳輸系統(tǒng)的簡介:
德國Limo公司是世界*的微光學(Micro-optics)產(chǎn)品和半導體激光器(Diode Laser)的供應商,其微光學技術是業(yè)內(nèi)*的世界*,微光學產(chǎn)品的應用涵蓋半導體激光準直、耦合透鏡;激光微細加工光束的整形鏡;光刻機上的核心光束均勻化物鏡。
LIMO BTS光束傳輸系統(tǒng)傳輸系統(tǒng)主要功能是將二極管Bar輸出的不對稱的光束轉變?yōu)榛緦ΨQ光束,這樣就可以使用一個對稱聚焦的集成光束鏡去準直或聚焦這束光, LIMO的快軸準直器有以下多種型號可供選擇。
的技術指標
發(fā)光尺寸/周期(um) | 快軸發(fā)散角(FW@1/e2) | 波長范圍(nm) | 產(chǎn)品型號 |
150/500 | <8mrad | 790-990 | BTS-123 |
150/500 | <12mrad | 790-990 | BTS-106 |
200/400 | <12mrad | 790-990 | BTS-101 |
150/500 | <15mrad | 790-990 | BTS-109 |
100/500 | <6mrad | 790-990 | CBTS-475 |
150/500 | <8mrad,<12mrad,<15mrad | 600-1600 | CBTS |
的主要特點:
BTS(光束轉折器)能夠將非常不勻稱的遠場發(fā)射光整形成幾乎圓形的光斑,并使用HOC將一束均勻光進行聚焦。
另外Limo公司還提供緊湊型的BTS,這種緊湊型的BTS使得占地面積更小,提高費用的利用率。